失效分析
半導體組件參數分析
描述： 利用SMU(Source measurement unit)供應電壓或電流，驗證與量測半導體組件特性(Diode I-V Curve、MOSFET特性曲線等)。如電容-電壓特性曲線、電壓-電流(IV)、電阻、電容、電感值量測或信號波形等，藉此了解組件的故障行為，以利后續的分析動作。
檢測設備能力：
Keysight B1500A：最多4 Channels、最高電壓200 V、最大限流1A，功率為20W。
1、可在0.1 fA-1 A /0.5 μV - 200 V范圍內進行精確的電流-電壓（IV）測量，支持點測量、掃描測量、采樣和脈沖測量；
2、在1 kHz至5 MHz頻率范圍內進行交流電容測量，支持準靜態電容-電壓（QS-CV）測量；
3、可選擇不同模式（先進的脈沖IV測量和超快IV測量），最低采樣間隔為5 ns（200 MSa/s）；
4、電性失效分析量測(EFA，Electrical Failure Analysis)；
測試范圍：
CMOS 晶體管 Id-Vg、Id-Vd、Vth、擊穿、電容和 QSCV
雙極晶體管 Ic-Vc、二極管、Gummel 曲線圖、擊穿和電容等
分立器件 Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二極管等
內存 Vth、電容、耐久性測試
功率器件 脈沖 Id-Vg、脈沖 Id-Vd、擊穿
納米器件 電阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc
可靠性測試 NBTI/PBTI、電荷泵、電遷移、熱載流子注入、斜坡電流（J-Ramp）、TDDB 等
檢測曲線圖片：
檢測設備：
檢測優勢：
1、 電容-電壓(C-V)、電壓-電流(I-V)、電阻(R)、電容(C)、電感(L)和訊號波形(Waveform)等。為失效分析提供保障，以利后續的分析動作。
2、 Keysight EasyEXPERT group+ 軟件是B1500A 自帶的 GUI 界面軟件，可在B1500A 的嵌入式 Windows 10 平臺上運行，支持高效和可重復的器件表征。B1500A 擁有幾百種即時可用的測量（應用測試），為測試執行和分析提供了直觀和功能強大的操作環境。它可以幫助工程師對器件、材料、半導體、有源 / 無源元器件或幾乎任何其他類型的電子器件進行精確和快速的電子表征和測試。
3、 測試范圍廣、定位精確、測試數據圖片更直觀、測試效率更高。
