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材料分析
光譜能量分析儀
描述： EDS全稱為Energy Dispersive Spectrometer，EDS是電子顯微鏡（SEM掃描電鏡、TEM 透射電鏡）的重要附屬配套儀器，主要利用電子束撞擊在樣品上所激發的特征X光來進行待測樣品的定性或半定量化學成份分析。
EDS通常與SEM (掃描電子顯微鏡）、TEM (透射電子顯微鏡）和STEM (掃描透射電子顯微鏡）等影像分析工具搭配使用的分析技術。當EDS和這些影像工具結合到一起時，可以提供直徑至納米的區域進行元素分析。電子束對樣品的撞擊會產生樣品元素的特性X-射線， EDS分析可用于確定單點的元素成份，繪制出二維/三維的成像區域元素的成份分布/稱映圖(Mapping)，或者EDS 線掃描Line-scanning一維成份分布。
應用范圍：樣品元素分析，被動件真偽鑒別
測試圖片：
